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石墨舟装载室:用于太阳能行业和PECVD运载车辆支撑,装载硅片,制备中高效过滤器,确保吹出的空气满足净化要求。
石墨舟工作原理:
空气经过高效过滤后,均匀压入阻尼层,使洁净气流垂直、单向送入负载工作区,从而保证工作区的洁净度满足工艺要求。操作人员在清洁的环境中将硅片安装到石墨舟上。
石墨舟主要特点:
1、能准确地使石墨舟轴承板小车定位;
2、全不锈钢制造,整机结构牢固可靠;
3、采用GK系列高效空气过滤器3台;
4. PECVD运载车辆内部可倾斜15度或旋转180度;
5、净化风机的噪声小于50dB。
6、确保工作区域的洁净度达到工艺要求100级。