单晶炉石墨加热器

一、简介

单晶炉石墨加热器是用于单晶硅等高纯度材料制备过程中的关键设备。它采用石墨材料作为加热元件，通过石墨材料的电阻发热特性，将电能转化为热能，从而实现对单晶硅等材料的加热处理。单晶炉石墨加热器在半导体材料制备领域具有广泛的应用，其稳定性和可靠性对于保证单晶硅等材料的制备质量至关重要。

二、特点

1. 电流类型：单晶炉石墨加热器通常采用交流电作为电源，其频率一般为50Hz或60Hz。较高的频率可使得加热温度更加稳定，从而保证单晶硅等材料的制备质量。

2. 耐高温性：石墨材料具有极高的耐高温性，其熔点可达3850±50℃，沸点为4250℃。即使在超高温电弧灼烧下，石墨的重量损失也很小，热膨胀系数也很小。此外，石墨的强度随温度提高而加强，在2000℃时，石墨强度提高一倍。

3. 导电、导热性：石墨的导电性比一般非金属矿高一百倍，导热性超过钢、铁、铅等金属材料。这使得石墨加热器具有加热速度快、温度均匀的特点，能够在短时间内将物体加热到所需温度，并保证物体表面和内部的温度均匀。

4. 化学稳定性：石墨在常温下具有良好的化学稳定性，能够耐受任何强酸、强碱和有机溶剂的侵蚀。因此，单晶炉石墨加热器即使使用久了损耗也不大，只需简单清洁即可恢复如新。

5. 节能环保：由于石墨材料具有高效能转化率和较低的反射率，单晶炉石墨加热器在加热过程中能够实现节能环保的目的。

6. 抗氧化和还原作用：真空炉石墨件单晶炉石墨加热器具有很强的抗氧化和还原作用，能够产生负氧离子，激活周围物品，对人体健康有益。

7. 吸附性：石墨具有良好的吸附性，能够吸附水分、气味、有毒物质等。在加热过程中，石墨加热器能够将这些有害物质排出，保证单晶硅等材料的纯净度。

8. 自润滑性能：石墨具有很好的自润滑性能，可以减少设备在运行过程中的磨损，延长设备的使用寿命。

1.采用提纯等静压石墨材料制作，导电性能良好，发热均匀，杂质含量低，抗腐蚀性能强强度高。

2.执行严格的全工序品质控制，保证产品精度杜绝配合不良导致的打火现象