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延长石墨热场器件寿命

2022-02-15 15:25:10

石墨热场是一个热系统。在机械中,一般是指单晶炉的热场,即单晶炉内的热系统。

1、单晶炉是一种惰性气体(氮气、氦气)环境,用石墨加热器将多晶材料如多晶熔化,采用拉法生长无位错单晶的设备。

2. 石墨热场就是一套用于拉单晶硅的石墨加热系统。最常见的是18英寸的石墨热场。

3.众所周知,热场部件如加热器、三叶锅、石墨盘、热屏等都是由石墨加工而成的。

4. 在生产过程中,加热器部件经常损坏。石墨热场装置损坏的原因是什么?

5. 要延长石墨热场装置的寿命,应采取哪些措施?

6、石墨器件的损坏,主要有人为和变质两个原因。

7、人事方面只要加强管理,加强员工预防意识,就能将损失降到最 低。


石墨热场

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