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操作人员应戴口罩和PVC手套。石墨坩埚应放置在垫有橡胶垫的台车上。石墨坩埚内如有掉落的氮化硅粉尘,应及时用压缩空气吹出,防止进入熔融硅,影响结晶质量。将柔性石墨板放置在装载小车的中部(使用直推小车),以确保柔性石墨板放置在运输小车上处于平衡状态。将坩埚放在柔性石墨板上(确保柔性石墨板不晃动),使柔性石墨板的四个边缘与坩埚的四个边缘之间的距离基本相同,必要时调整坩埚的位置。在坩埚周围安装柔性石墨板,将螺栓和螺钉孔对准柔性石墨板,用手轻轻拧紧螺母,观察柔性石墨板周围和坩埚周围的间隙,移动柔性石墨板,以确保坩埚置于中间。检查保温笼是否正常,底部四角与炉腔下边缘基本在同一平面上,无倾斜、凹凸现象。柔性石墨板的四个角应与炉腔之间的距离一致。确保下炉膛处于下限。
用真空吸尘器清洁炉膛。请勿在高温下操作,以免烫伤人体或污染柔性石墨板。检查坩埚装载和石墨支撑板的状态。确认无异常后,试装/卸叉车,吊起装好的坩埚支撑板,注意坩埚平衡,将坩埚支撑在两叉臂中心。升高叉臂的上限,小心地驶入两个导轨之间的下炉腔,缓慢降低坩埚,并缓慢地将其放在DS块上。用直尺测量DS块与柔性石墨板四个边缘之间的距离为4±0.5cm。确保石墨支撑板在中间,并将坩埚放在DS块上。在此过程中,请注意叉臂底部不会压过顶部柔性石墨板。将坩埚放在DS块上,然后缓慢地卸下叉车。用清洁纸和异丙醇清洁上下炉腔法兰段,然后在下炉腔密封零位均匀涂抹一薄层高温真空润滑脂。