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热场是真空电阻炉的核心。它的质量直接影响到加热炉的性能和运行成本。热场的设计是多种多样的。设计方案的具体选择主要基于对工艺流程的具体分析。大多数真空电阻炉的热场主要由四个部分组成:加热器及其连接件、隔热件(或反射屏)、热场支撑件和工件支承炉床。由于材料问题或维修时间的原因,这些附件通常需要定期更换。在什么情况下需要更换和清洁石墨热场附件?
1.如果使用寿命已到更换期,原则上需要更换(或让有经验的人鉴定,决定是否继续使用)。对未达到使用年限暂时不用的,用塑料袋密封,纸箱包装,标明炉号、炉号、更换原因、来源、日期,妥善保管。
2.对于部分损坏(如三片破损、一片破损)但未达到使用寿命的,可以使用或更换(对于新的三片坩埚,炉次较少,由车间主管决定是否使用。能用够的,可以用;能用但暂时不用的,应当封存)。对于密封储存的再利用,建议在净化炉上使用。
3.每次拆炉时,应清理热场中的氧化物,并清理硅化石墨零件。小心擦拭导筒和保温盖,避免杂物污染原材料的事故。服用石墨零件时,除了人身安全外,还要小心轻放,注意石墨零件的安全。
4.严格按操作规程进行升温、熔料、重熔、停炉,保护石墨零件。各炉拆除后,认真清理石墨附件,仔细检查晶种及各种石墨热场附件的状况,并做好详细记录。
5.检查石墨附件有无裂纹,特别是石墨坩埚、石墨托盘、石墨坩埚杆。如果有裂纹,立即报告车间主管并更换。判断或向车间负责人报告有硅的地方。班长负责对5台炉在预期使用寿命前的使用前进行检查和评审。车间主管负责对5台炉在预期使用寿命前的使用情况进行检查和评审。
6、石墨配件使用寿命届满后,应拆除石墨配件(石墨托盘、坩埚杆、石墨坩埚)等因超期使用可能造成重大损失的部件进行更换,更换后的石墨配件应密封,单晶车间,技术部、生产部会审后处理。加热器、保温筒、尾水管等其他附件应仔细检查有无细小裂纹和缺陷。原则上,如果没有上述缺陷,这些石墨配件可以继续使用。石墨热场附件有炉内填料应作详细记录。
7、石墨热场附件应做好详细记录,以防发生事故。有问题的石墨配件应详细记录,分类存放在指定位置,防止混淆。