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石墨埚托又称石墨托盘或坩埚托盘,石墨托盘位于单晶炉中石墨坩埚下面的支撑件,在单晶炉热场中,石墨埚托的安装要求与下轴结合牢固,对中性良好,在下轴转动时,石墨托盘的偏摆渡≤0.5mm。
1.采用高强度等静压石墨材料制作,具备高密度、高强度、抗腐蚀性能强,杂质含量低,使用寿命长,有效降低单炉次运行成本和设备的安全隐患。
2.执行严格的全工序品质控制,保证产品精度,排除配合不良导致的局部受力等安全隐患。